摘要:发明属于微电子器件和功能薄膜技术领域,具体涉及一种可擦写、可读出的薄膜型电阻开关器件及其制作方法。该器件的结构为:金属一功能介质层一金属(Mi-Functional layer-M2)结构,二端的金属层做电极。其中的功能介质层采用溶液吸附方法沉积硫氰膜,再通过自然固化方法形成的聚硫氰薄膜。这种夹层结构的薄膜器件具有稳定的可逆电阻开关特性,二种状态的阻值比为103~106,可作为开关器件和存储器件使用,器件的制作工艺非常简单。sO76aRG"{6 插座网 http://www.chazuo.com.cn/ 作者:徐伟 董元伟(复旦大学)sO76aRG"{6 插座网 http://www.chazuo.com.cn/ sO76aRG"{6 插座网 http://www.chazuo.com.cn/
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